产品描述
EZ-0715龙门结构气浮运动平台专为高精度应用而设计开发的。集成了海德汉的LIP6.G0增量式测量系统以及优化的结构设计，使得它的定位精度可达±250nm，重复定位精度为±25nm。真空预压气浮轴承的使用和优化的质量分布，使得它既有很高的刚度又有紧凑小巧的尺寸。使用了无铁芯电机，加速度可到 10 m/s 2，速度为1m/s，行程末端集成了位置传感器。电缆（动力/反馈）和气管（压缩空气）被集成到对称的V型拖链里。机台的床身由花岗岩（大理石）制作而成XY轴可以根据客户的需求进行定制；也可以将XY轴（两轴）扩展为XYZ轴（三轴），或XYC轴（三轴），或XYZC轴（四轴）。
应用领域: 定位精度/重复定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻、激光加工等等。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 行程 | ||
| 单轴定位精度（补偿后） 1) | ||
| 重复定位精度（双向） 2) | ||
| 位置稳定度 | ||
| 垂直直线度（补偿后） | ||
| 水平直线度 | ||
| 俯仰 | ||
| 偏摆（X轴） | ||
| 偏摆（Y轴） | ||
| 最大速度（无负载） | ||
| 最大加速度（无负载） | ||
机械参数 | ||
| 安装方向 | ||
| 尺寸（长 x 宽 x 高） | ||
| 最大承载 | ||
| 滑块重量（上轴） | ||
| 滑块重量（下轴） | ||
| 总重量 | ||
编码器 | ||
| 类型 3) | ||
| 信号 | ||
电机 | ||
| 类型 | ||
| 峰值电压 | ||
| 持续推力，X 轴（2台电机） / Y轴 | ||
| 峰值电流，X / Y | ||
| 反电动势峰值 | ||
| 力常数 | ||
操作使用 | ||
| 供气压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 平均无故障工作时长 | ||
| 限位开关 | ||
| 洁净室适用性 4) | ||
驱控系统 | ||
| 高性能 |
1)在行程的中间位置
2)在静态模式下
3)如需要绝对式编码器，请联系
4)取决于细节设计
