产品描述
E Z – 0 7 4 5 – Z C 可以集成到X Y 平台中， 比如EZ-0715，形成一个四轴系统。
由于高度集成设计，总体高度仅为138mm。旋转角度±3°。由于C轴的重复定位精度极高，仅为±1.5μrad，使得机台的对准角度极高。集成了2个气浮轴承块，防止Z轴旋转；集成了2个音圈电机提供动力；同时集成了空气轴承平衡气缸来平衡重力。如果需要定制化的、仅作为Z轴使用，请联系我们。
由于高度集成设计，总体高度仅为138mm。旋转角度±3°。由于C轴的重复定位精度极高，仅为±1.5μrad，使得机台的对准角度极高。集成了2个气浮轴承块，防止Z轴旋转；集成了2个音圈电机提供动力；同时集成了空气轴承平衡气缸来平衡重力。如果需要定制化的、仅作为Z轴使用，请联系我们。
应用领域: 定位精度/重复定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻、激光加工等等。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 旋转角度（C轴） | ||
| 行程（Z轴） | ||
| 直线度（ZTX, ZTY） | ||
| 俯仰/偏摆（ZRX, ZRY）） | ||
| 翻滚（ZRZ） | ||
| 位置稳定度，Z轴 1) | ||
| 定位精度，Z轴 1) | ||
| 定位精度，C轴 1) | ||
| 重复定位精度，C轴 1) | ||
| 最大速度（无负载） | ||
| 最大加速度（无负载） | ||
机械参数 | ||
| 安装方向 | ||
| 尺寸，缸径 x 高度 | ||
| 总重量 | ||
| 最大承载 | ||
| 材料 | ||
编码器 | ||
| 类型 | ||
| 信号 | ||
电机 | ||
| 类型，C轴 | ||
| 中间电路电压，C轴 | ||
| 额定/峰值推力，C轴 | ||
| 额定/最大电流，C轴 | ||
| 类型，Z轴 | ||
| 中间电路电压，Z轴 | ||
| 额定/峰值推力，Z轴 | ||
| 额定/最大电流，Z轴 | ||
操作使用 | ||
| 供气压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
| 标准 | ||
| 高性能 |
1)由ACS驱动器测得
