产品描述
EZ-0778（未安装电机）气浮转台具有很高的轴向和径向承载能力和刚度。误差运动小于 < 100 nm，所以该工作台是高精度加工中旋转运动的理想选择。 该气浮旋转平台可以通过波纹管联轴器和皮带轮连接外部电机。如有要求，可在德国工厂进行装配。 EZ-0778 安装方向没有限制，可以竖直、可以水平安装。
应用领域：精密车削、抛光、研磨、晶圆研磨、晶圆减薄等领域； 也完美地适用同心度要求很高的场合。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 旋转角度 | ||
| 轴向误差运动（中心线） | ||
| 径向误差运动（在 20 mm 高度） | ||
| 轴向跳动 （在半径 85 mm） | ||
| 最大转速 | ||
机械数据 | ||
| 安装方向 | ||
| 尺寸（直径x高度） | ||
| 轴向最大承载 | ||
| 轴向额定承载 | ||
| 径向最大承载 | ||
| 径向额定承载 | ||
| 轴向刚度 | ||
| 径向刚度 | ||
| 倾斜刚度 | ||
| 倾覆力矩 | ||
| 转子重量 | ||
| 转台总重 | ||
| 惯性力矩 （不含皮带轮） | ||
| 材料 | ||
操作使用 | ||
| 供气压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 洁净室适用性 |
举例: 皮带轮结构的转台 – 皮带轮具体类型可根据要求提供