产品描述
EZ-0779 气浮旋转平台具有很高的承载能力和很低误差运动（低至 100 nm），最初是为半导体晶圆加工而开发的；其实它有很广泛的应用。该气浮转台配有水冷式大扭矩的电机，电机和气浮轴承的动子和转子之间无机械接触，实现“ 零摩擦”运动。 可选配6通道的旋转接头，既可以联通压缩空气也可以联通负压。 配有 18,000 条刻线的增量式编码器 Numerik Jena RIK4，可以插值（电子细分）5、10、50 或100 倍。倍分系数越小，转速越高；电子细分倍数越大，旋转精度越高，但是转速越低。 EZ-0779 的安装方向没有限制，可水平也可以竖直安装。
应用领域: 晶圆研磨、晶圆减薄、测量系统/ 装备、对重复精度和同步性要求高的场合。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 旋转角度 | ||
| 轴向误差运动 （中心线） | ||
| 径向误差运动 （在 20 mm 高度） | ||
| 轴向跳动 | ||
| 最大转速 1) | ||
机械数据 | ||
| 安装方向 | ||
| 尺寸（直径 x 高度） | ||
| 内孔（通孔）直径 | ||
| 转子重量 | ||
| 转台总重 | ||
| 轴向最大承载 | ||
| 轴向额定承载 | ||
| 径向最大承载 | ||
| 径向额定承载 | ||
| 轴向刚度 | ||
| 径向刚度 | ||
| 倾斜刚度 | ||
| 倾覆力矩 | ||
| 惯性力矩 | ||
| 材料 | ||
编码器 | ||
| 类型 | ||
| 码盘刻线 | ||
| 输出信号 | ||
| 插值（电子细分）选项 | ||
电机 | ||
| 类型 | ||
| 中间电路电压 | ||
| 额定/峰值扭矩 | ||
| 额定/峰值电流 | ||
操作 /使用 | ||
| 供气压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
| 标准 | ||
| 高性能 |
1)依据插值倍数
驱控系统
我们也可以提供以下型号的驱动器/ 控制器，供客户选择：
Kollmorgen Servostar S300 / S700
Kollmorgen AKD P00606
