产品描述
智慧的设计使得EZ-0730具有最大程度的刚度和出色的重复定位精度，最大限度地减少了轴与轴之间的干扰。
内置功能如下：
- 脉冲解耦功能，即使在高加速度下也能最大限度地减少轴与轴之间的串扰。
- 下轴滑块使用碳材料使得总体重量减轻了不少。
- 由于使用了热膨胀系数接近0的碳材料，最大限度地减少了温度对于精度的影响。
- 由于采用了先进的空气轴承技术，并且集成了真空预压气浮轴承（锁紧和固定功能），可进行高精度的倾斜角度调整，而且卡盘还具有很高的刚度。
- 由于新颖的V型拖链（压缩空气气管、动力/反馈电缆）的设计，能最小化地减少管线对运动的干扰。
- 无铁芯电机和高精度的海德汉（Heidenhain LIP6 G0) 测量系统。
机器床身是用花岗岩（大理石）制作的。可以根据客户的要求定制不同行程、不同尺寸的XY轴。
应用领域: 定位精度高、扫描、曝光、激光雕刻、激光加工等设备。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 行程 | ||
| 定位精度（X或Y轴），补偿后 | ||
| 差分定位精度（Y轴），step to step （3σ） | ||
| 重复精度（3σ, 双向） | ||
| X轴位置稳定度（Y轴处于最大加速度时） | ||
| X轴整定时间（行程4mm, 位置误差 < 20nm） | ||
| 水平直线度 | ||
| X轴垂直方向直线度 | ||
| 俯仰 | ||
| 偏摆 | ||
| 倾斜调整距离 | ||
| 倾斜调整角度 | ||
| XY轴最大速度（无负载） | ||
| XY轴最大加速度（无负载） | ||
机械参数 | ||
| 下轴（X轴） | ||
| 尺寸（长 x 宽 x 高）（含空气弹簧、不含拖链） | ||
| 最大承载 （动态应用） | ||
| Y轴滑块重量（上轴） | ||
| X轴滑块重量（下轴） | ||
| 总重量 | ||
编码器 | ||
| 类型 | ||
| 信号 | ||
电机 | ||
| 类型 | ||
| 中间电路电压 | ||
| 持续推力，X轴（两个电机）/ Y轴 | ||
| 峰值电流，X / Y | ||
| 反电动势峰值，X / Y | ||
| 力常数 | ||
操作使用 | ||
| 供气压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 平均无故障工作时长 | ||
| 限位开关 | ||
| 洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
| 高性能 |
