产品描述
智慧的设计使得EZ-0730具有最大程度的刚度和出色的重复定位精度,最大限度地减少了轴与轴之间的干扰。
内置功能如下:
- 脉冲解耦功能,即使在高加速度下也能最大限度地减少轴与轴之间的串扰。
- 下轴滑块使用碳材料使得总体重量减轻了不少。
- 由于使用了热膨胀系数接近0的碳材料,最大限度地减少了温度对于精度的影响。
- 由于采用了先进的空气轴承技术,并且集成了真空预压气浮轴承(锁紧和固定功能),可进行高精度的倾斜角度调整,而且卡盘还具有很高的刚度。
- 由于新颖的V型拖链(压缩空气气管、动力/反馈电缆)的设计,能最小化地减少管线对运动的干扰。
- 无铁芯电机和高精度的海德汉(Heidenhain LIP6 G0) 测量系统。
机器床身是用花岗岩(大理石)制作的。可以根据客户的要求定制不同行程、不同尺寸的XY轴。
应用领域: 定位精度高、扫描、曝光、激光雕刻、激光加工等设备。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
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行程 | ||
定位精度(X或Y轴),补偿后 | ||
差分定位精度(Y轴),step to step (3σ) | ||
重复精度(3σ, 双向) | ||
X轴位置稳定度(Y轴处于最大加速度时) | ||
X轴整定时间(行程4mm, 位置误差 < 20nm) | ||
水平直线度 | ||
X轴垂直方向直线度 | ||
俯仰 | ||
偏摆 | ||
倾斜调整距离 | ||
倾斜调整角度 | ||
XY轴最大速度(无负载) | ||
XY轴最大加速度(无负载) | ||
机械参数 | ||
下轴(X轴) | ||
尺寸(长 x 宽 x 高)(含空气弹簧、不含拖链) | ||
最大承载 (动态应用) | ||
Y轴滑块重量(上轴) | ||
X轴滑块重量(下轴) | ||
总重量 | ||
编码器 | ||
类型 | ||
信号 | ||
电机 | ||
类型 | ||
中间电路电压 | ||
持续推力,X轴(两个电机)/ Y轴 | ||
峰值电流,X / Y | ||
反电动势峰值,X / Y | ||
力常数 | ||
操作使用 | ||
供气压力 | ||
耗气量 | ||
平均无故障工作时长 | ||
限位开关 | ||
洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
高性能 |