ロータリーテーブル

EZ-RP201 - パッシブ|主な特長

  • パッシブエアベアリングロータリーテーブル
  • 特に誤差の少ない動き
  • 高速運転が可能
  • 高い耐荷重と剛性
  • 豊富なサイズ

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製品説明

EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 < 30 nm 未満、ラジアル誤差 < 50 nm 未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。ステンレス製ターンテーブルは、フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。

用途: 精密旋盤、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。

仕様

タイプ
単位
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
旋回範囲
°
> 360 (無制限)
> 360 (無制限)
> 360 (無制限)
誤差 軸方向(中央部)
μm
<0.03
<0.03
<0.03
ラジアル方向の振れ(高さ20mmにて)
μm
<0.05
<0.05
<0.05
アキシャル振れ(半径85mm方向)
μm
<2
<2
<2
最大 速度
rpm
5,000
4,000
2,000
メカニカルデータ
単位
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
取付位置
制限なし
制限なし
制限なし
直径 x 高さ
mm
200 x 130
240 x 160
300 x 170
直径 ローター
mm
155
195
247.6
可動質量(ローター)
kg
9.7
19.4
36.4
総質量
kg
21
38
66
最大 アキシャル荷重
N
2,900
4,000
5,000
公称荷重 アキシャルプッシュ/プル
N
2,300
2,800
4,000
最大荷重 ラジアル荷重
N
690
1,200
2,000
公称ラジアル荷重
N
500
850
1,600
剛性アキシャル
N/μm
500
580
2,500
ラジアル剛性
N/μm
100
110
500
傾きに対する抵抗
Nm/rad
0.8
2.8
8
最大 最大傾斜モーメント
Nm
> 50
> 100
> 200
慣性モーメント
kg*m2
0.03
0.1
0.25
コネクションと周辺環境
単位
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
供給圧力
bar
5
5
5
空気消費量
Sl/min
70
40
70
クリーンルーム適合性
該当
該当
該当
EZ-RP201 Drehtisch

2つの取り付けオプションがあります:

– 付属のM10ネジ山を使用し、M10シリンダーヘッドネジで固定する、
– カウンターシンクボアを使用してM8シリンダーヘッドスクリューで固定する。
EZ-RP201 Drehtisch
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