产品描述
该转台误差运动极低,轴向小于 < 30 nm,和径向小于< 50 nm。 EZ-RP201 系列转台能够满足极高的同心度需求。 得益于它的H 型结构和优化的气浮轴承结构,使得它能够达到极高的气膜刚度和承载力,因此它非常适合加工高硬度的物体。 由不锈钢材料制作而成,可以通过法兰盘连接外置电机,也可通过皮带轮连接。
应用领域:精密车削、抛光、研磨、晶圆研磨、晶圆减薄等领域; 也完美地适用同心度要求很高的场合。
技术规格
类型 | 单位 | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
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旋转角度 | ||||
轴向误差运动 (中心线) | ||||
径向误差运动 (在 20 mm 高度) | ||||
轴向跳动 (在半径 85 mm) 最大 | ||||
最大 转速(仅初代版本) | ||||
机械数据 | ||||
安装方向 | ||||
尺寸(直径 x 高度) | ||||
转子直径 | ||||
转子重量 | ||||
转台总重 | ||||
轴向最大承载 | ||||
轴向额定承载 | ||||
径向最大承载 | ||||
径向额定承载 | ||||
轴向刚度 | ||||
径向刚度 | ||||
倾斜刚度 | ||||
倾覆力矩 | ||||
惯性力矩 | ||||
操作使用 | ||||
供气压力 | ||||
耗气量 | ||||
洁净室适用性 |
两种安装选项:
-用M10 的圆头螺栓锁紧 M10 螺栓处,
-用 M8 的圆头螺栓锁紧沉头孔处.