Drehtisch
EZ-RP201 - Passiv | Key Features
- Luftgelagerter passiver Drehtisch
- Extrem hohe Rundlaufgenauigkeit
- Hohe Drehzahlen möglich
- Hohe Tragkraft und Steifigkeit
- Serie mit unterschiedlichen Größen
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Produktbeschreibung
Mit einer axialen Error Motion von < 30 nm und einer radialen Error Motion von < 50 nm erfüllt die Drehtischserie EZ-RP201 höchste Ansprüche an die Rundlaufgenauigkeit. Durch die spezielle H-Bauform und eine optimierte Lagerauslegung werden eine sehr hohe axiale Belastbarkeit und Steifigkeit erreicht. Die aus Edelstahl gefertigten Drehtische können kundenseitig über einen außen angeflanschten Motor oder über eine Riemenscheibe angetrieben werden.
Einsatzgebiete: Antrieb/Lagerung in den Bereichen Feindrehen, Polieren, Schleifen, Waferschleifen; Anwendungen mit hohen Rundlaufanforderungen.
Spezifikationen
Typ | Einheit | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
|---|---|---|---|---|
| Drehweg | ||||
| Error Motion axial (im Zentrum) | ||||
| Error Motion radial (auf 20 mm Höhe) | ||||
| Planlauf axial (entlang Radius 85 mm) | ||||
| Max. Drehzahl | ||||
Mechanische Eigenschaften | ||||
| Einbaulage | ||||
| Durchmesser x Höhe | ||||
| Durchmesser Rotor | ||||
| Bewegte Masse (Rotor) | ||||
| Gesamtmasse | ||||
| Max. Tragkraft axial | ||||
| Nominale Tragkraft axial Druck/Zug | ||||
| Max. Tragkraft radial | ||||
| Nominale Tragkraft radial | ||||
| Steifigkeit axial | ||||
| Steifigkeit radial | ||||
| Kippsteifigkeit | ||||
| Max. Kippmoment | ||||
| Inertialmoment | ||||
Anschlüsse und Umgebung | ||||
| Versorgungsdruck | ||||
| Luftverbrauch | ||||
| Reinraumeignung |
Zwei Montagemöglichkeiten stehen zur Auswahl:
– Befestigung mit M10-Zylinderkopfschrauben unter Verwendung der M10-Gewinde,
– Befestigung mit M8-Zylinderkopfschrauben unter Verwendung der Senkbohrungen.
