製品説明
EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 < 30 nm 未満、ラジアル誤差 < 50 nm 未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。ステンレス製ターンテーブルは、フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。
用途: 精密旋盤、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。
仕様
タイプ | 単位 | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
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旋回範囲 | ||||
誤差 軸方向(中央部) | ||||
ラジアル方向の振れ(高さ20mmにて) | ||||
アキシャル振れ(半径85mm方向) | ||||
最大 速度 | ||||
メカニカルデータ | ||||
取付位置 | ||||
直径 x 高さ | ||||
直径 ローター | ||||
可動質量(ローター) | ||||
総質量 | ||||
最大 アキシャル荷重 | ||||
公称荷重 アキシャルプッシュ/プル | ||||
最大荷重 ラジアル荷重 | ||||
公称ラジアル荷重 | ||||
剛性アキシャル | ||||
ラジアル剛性 | ||||
傾きに対する抵抗 | ||||
最大 最大傾斜モーメント | ||||
慣性モーメント | ||||
コネクションと周辺環境 | ||||
供給圧力 | ||||
空気消費量 | ||||
クリーンルーム適合性 |
2つの取り付けオプションがあります:
– 付属のM10ネジ山を使用し、M10シリンダーヘッドネジで固定する、
– カウンターシンクボアを使用してM8シリンダーヘッドスクリューで固定する。