エアベアリングZC軸

EZ-0745-ZC|主な特長

  • 垂直設置用リニア軸
  • 回転角度 ±3
  • 最大荷重 荷重 10 kg
  • 内蔵重量補正
  • アブソリュートリニアエンコーダ
  • ボイスコイルによるダイナミックドライブ
  • X/Yステージに内蔵可能(例:EZ-0715)

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製品説明

エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ( EZ-0715など)への統合を目的としています。 高度に統合された設計により、全高は約138mmと低く抑えられています。回転角度は±3°に制限されています。1.5μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動される。エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。

用途: 高精度位置決め作業、スキャニング、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。

仕様

1) ACSアンプで測定

EZ-0745 ZC-Achse

コントロール

ZC軸EZ-0745には、以下のドライブコントロールが付属しています:

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