製品説明
エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ（ EZ-0715など）への統合を目的としています。 高度に統合された設計により、全高は約138mmと低く抑えられています。回転角度は±3°に制限されています。1.5μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動される。エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。
用途: 高精度位置決め作業、スキャニング、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
|---|---|---|
| 回転角度 (C) | ||
| ストローク（Z | ||
| 真直度（ZTX、ZTY） | ||
| ピッチ、ヨー（ZRX、ZRY） | ||
| ロール（ZRZ） | ||
| Z方向の位置安定性 1） | ||
| Z方向の精度 1) | ||
| ポジション精度 C 1) | ||
| 繰返し精度 C 1) (1)) | ||
| 最高速度 無負荷速度 | ||
| 最大加速度 無負荷時最大加速度 | ||
メカニカルデータ | ||
| 取付位置 | ||
| シリンダー径×高さ | ||
| 総質量 | ||
| 最大荷重 最大荷重 | ||
| 材質 | ||
エンコーダー | ||
| タイプ | ||
| 信号 | ||
ドライブ | ||
| 駆動タイプ | ||
| 中間回路電圧 | ||
| 公称/ピーク | ||
| 公称/最大 | ||
| ドライブタイ | ||
| 中間回路電圧 | ||
| 公称/ピーク | ||
| 公称/最大 | ||
インターフェイスと環境 | ||
| 供給圧力 | ||
| 空気消費量 | ||
| クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
| スタンダード | ||
| ハイエンド |
1) ACSアンプで測定
