製品説明
EZ-8046 Self-Aligning Unit（SAU）は、組立・接合・圧入工程における摩擦のない位置合わせを目的として特別に設計された球面エアベアリングです。SAU は接合面において自己調芯し（±1° の傾斜／傾き角）、任意の角度位置で高精度かつ高い繰り返し精度の位置合わせを実現します。圧入作業は、所定のワーキングポイントで実施することにより、2 µm以下の平行度を実現できます。セットポジションを固定するには、圧縮エアの供給を停止するだけで十分です。ベアリング上部可動部は、SAU に再びエアが供給されるまで磁力によって固定された状態を保ちます。インストール作業は正立姿勢・吊り下げ姿勢のいずれでも可能です。詳細情報およびプロセス固有のソリューションについては、当社までお問い合わせください
吊り下げ取付
正立取付
仕様
タイプ | 単位 | 値 |
|---|---|---|
| 取付姿勢 | ||
| 寸法（長さ×幅×高さ） | ||
| 傾き範囲 | ||
| 位置合わせ平行度 | ||
機械的特性 | ||
| 質量 | ||
| 最大許容荷重（エア供給オン）押し／引き | ||
| 最大許容荷重（エア供給オフ）押し／引き | ||
| 作業点までの距離 | ||
| 材質（ローター） | ||
| 材質（ハウジング） | ||
接続および環境 | ||
| 供給圧力 | ||
| 空気消費量 | ||
| クリーンルーム適合性 |
位置合わせ手順
ステップ1
位置合わせモード → エア供給オン
工具が下降します。このとき、加圧力がワークホルダーを介してムーバー（SAU の可動上部）に伝達されます。
ステップ2
位置合わせモード → エア供給オン
作業点にある接合面が、力の方向に対して 2 µm の平行度で位置合わせされます。
ステップ3
「固定」モード → エア供給オフ
位置合わせが完了したら、圧縮エアの供給を停止できます。
ムーバーは磁気予圧によってベースに固定され、位置合わせされた状態で確実に保持されます。
ステップ4
「固定」モード → エア供給オフ
工具が後退します。
ワークホルダーは、圧縮エアの供給が再び有効になるまで、その位置に固定されたまま保持されます。