ロータリーテーブル

EZ-0779|主な特長

  • ダイレクトドライブ付きエアベアリングロータリーテーブル
  • 耐荷重アキシャル3,000 N
  • 半径方向振れ < 0,1 μm
  • ラジアル振れ 500 U/min
  • 水冷モーター

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製品説明

高いアキシャル荷重容量と100nm以下のアキシャル/ラジアル誤差モーションを持つEZ-0779ロータリーテーブルは、もともとウェハープロセス用に開発されたもので、幅広いアプリケーションに適しています。ダイレクトドライブ回転テーブルは、強力な水冷トルクモーターを装備しています。オプションで、最大6つのエアー/真空チャンネルを備えたロータリーフィードスルーを組み込むことができます。18,000本ラインの測定システム(Numerik Jena RIK4)は、オプションで補間係数5、10、50、100のいずれかを選択できる。補間係数を低く設定すれば高速化が可能になり、高く設定すれば繰返し精度が向上する。設置位置の制限はありません。

用途: ウェーハ研削、ウェーハ薄片化、テストシステム、同期や位置決め精度に高い要求があるアプリケーション

仕様

タイプ
単位
価値
旋回範囲
°
> 360 (無制限)
誤差 軸方向(中央部)
μm
<0.1
ラジアル方向の振れ(高さ20mmにて)
μm
<0.1
軸方向振れ(半径35mm方向)
μm
1
最大回転数 速度 1)
rpm
500
メカニカルデータ
単位
価値
取付位置
制限なし
直径×高さ
mm
300 x 345
開口部
mm
50
可動質量(ローター)
kg
31
総質量
kg
70
最大 アキシャルプッシュ/プル
N
2,700
公称負荷容量 アキシャルプッシュ/プル
N
2,200
最大負荷容量 ラジアル耐荷重
N
1,600
公称ラジアル耐荷重
N
1,300
アキシャル剛性
N/µm
450
ラジアル剛性
N/µm
130
傾きに対する抵抗
Nm/µrad
4
最大 最大傾斜モーメント
Nm
60
慣性モーメント
kg*m2
0.12
材質
アルミニウムアルマイト / ステンレススチール
エンコーダー
単位
価値
タイプ
インクリメンタル
ライン/回転
18,000
出力信号
1Vpp
補間オプション
5-, 10-, 50-, 100-fold
ドライブ
単位
価値
タイプ
同期、鉄芯
中間電圧
VDC
マックスだ。 400
公称/ピークトルク
Nm
60 / 218
公称/ピーク電流
A rms
6.7 / 32.9
インターフェイスと環境
単位
価値
供給圧力
bar
5
空気消費量
Sl/min
ca.50
クリーンルーム適合性
該当
ドライブコントロール
スタンダード
Kollmorgen AKD P00606 / Servostar S300
ハイエンド
ACS Controller

1) 内挿値による

EZ-0779 Drehtisch

コントロール

回転テーブルEZ-0779には以下のドライブコントローラをご用意しています:

Kollmorgen Servostar S300 / S700

Kollmorgen AKD P00606

ACS Controller

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