XYステージ

EZ-0117|主な特長

  • 移動範囲 250 mm x 450/800 mm
  • 最高速度 速度 1 m/s
  • 高精度
  • 最大荷重 最大荷重 500 N
  • 機械内部を完全にカバー
  • パーティクル発生加工に最適

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製品説明

XYステージEZ-0117の設計では、コスト重視の設計と高精度の両立を特に重視しました。エアベアリングトレッドはベローズで覆われており、パーティクルの侵入を防ぎます。ベローズを装備しているにもかかわらず、高い位置決め精度を達成しています。鉄芯同期モーターにより、加速度は最大 10 m/s2 、移動速度は最大1 m/s。機械ベッドは花崗岩製。クロステーブルの側面には、エネルギー、信号、媒体を伝送するためのインターフェースプレートが装備されています。両軸とも、電気および空圧エネルギーを個別に供給できる。終端位置は誘導センサーにより検出されます。XYステージには2つのサイズがあり、移動範囲は250 x 450 mmまたは250 x 800 mmです。ご要望に応じて、他の寸法や2軸システムの拡張も可能です。

用途: 位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。

仕様

タイプ
単位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
記事番号
0030823
0026390
ストローク
mm
250 x 450
250 x 800
位置決め精度(非補償)
μm
± 2
± 2
繰り返し精度(双方向) 1)
nm
± 75
± 75
位置安定性 1)
nm
50
50
上下左右の直進性
μm
2
3
ピッチ
μrad
20
20
ヨー
μrad
10
10
最大速度 無負荷時速度
m/s
1
1
最大加速度 加速度(無負荷時
m/s2
10
10
メカニカルデータ
単位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
取付位置
ホリゾンタル
ホリゾンタル
寸法 長さ×幅×高さ
mm
1198 x 1201 x 297
1216 x 1540 x 297
最大荷重 最大荷重
N
500
500
移動質量 Y
kg
18
18
移動質量 X + Y
kg
80
80
総質量
kg
675
850
エンコーダー
EZ-0117-450
EZ-0117-800
タイプ 2)
インクリメンタル
インクリメンタル
センサー信号
1 Vpp, 20 μm signal period
1 Vpp, 20 μm signal period
ドライブ
単位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
タイプ
3相、同期、鉄心
3相、同期、鉄心
最大 最大電圧 ph-ph
VAC
400
400
連続力 X / Y
N
640 / 320
640 / 320
ピーク電流 X / Y
A
16 / 8
16 / 8
バックEMK ph-ph X / Y
V/m/s
76
76
フォースコンスタント
N/A
93
93
インターフェイスと環境
単位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
供給圧力
bar
5
5
空気消費量
Sl/min
20
20
MTBF
h
> 20 000
> 20 000
リミットスイッチ
PNP
PNP
クリーンルーム適合性 3)
該当
該当
ドライブコントロール
EZ-0117-450
EZ-0117-800
スタンダード
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
ハイエンド
ACS Controller with NanoPWM Drive; Triamec TSD130
ACS Controller with NanoPWM Drive; Triamec TSD130

1) ACSアンプで測定
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による

EZ-0117 XY-Kreuztisch

コントロール

EZ-0117ステージには以下のドライブコントローラをご用意しています:

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