製品説明
EZ-0778パッシブロータリテーブルは、高いアキシャル、ラジアル荷重容量と剛性を特徴としています。< 100 nm 以下の低誤差モーションにより、高精度加工工程における回転運動に最適です。エアベアリングロータリーテーブルは、ベローズカップリングとプーリーを介して外部モーターで駆動することができます。ご要望に応じて、工場で事前に組み立てることも可能です。設置位置に制限はありません。
用途: 精密旋盤、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。
仕様
タイプ | 単位 | EZ-0778 |
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旋回範囲 | ||
誤差 軸方向(中央部) | ||
ラジアル方向の振れ(高さ20mmにて) | ||
アキシャル振れ(半径85mm方向) | ||
最大 速度 | ||
メカニカルデータ | ||
取付位置 | ||
直径×高さ | ||
最大 アキシャル荷重 | ||
公称荷重 | ||
最大荷重 ラジアル荷重 | ||
公称ラジアル荷重 | ||
剛性アキシャル | ||
ラジアル剛性 | ||
傾きに対する抵抗 | ||
最大 最大傾斜モーメント | ||
可動質量(ローター) | ||
総質量 | ||
慣性モーメント | ||
材質 | ||
インターフェイスと環境 | ||
供給圧力 | ||
空気消費量 | ||
クリーンルーム適合性 |
図: プーリー付きロータリーテーブル – お客様のご要望に応じたプーリータイプ