製品説明
EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 < 30 nm 未満、ラジアル誤差 < 50 nm 未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。ステンレス製ターンテーブルは、フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。
用途: 精密旋盤、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。
仕様
タイプ | 単位 | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
|---|---|---|---|---|
| 旋回範囲 | ||||
| 誤差 軸方向（中央部） | ||||
| ラジアル方向の振れ（高さ20mmにて） | ||||
| 軸（アキシャル）方向の振れ（面a/bにて測定）1) | ||||
| 半径（ラジアル）方向の振れ（面a/bにて測定）1) | ||||
| 最大 速度 | ||||
メカニカルデータ | ||||
| 取付位置 | ||||
| 直径 x 高さ | ||||
| 直径 ローター | ||||
| 可動質量（ローター） | ||||
| 総質量 | ||||
| 最大 アキシャル荷重 | ||||
| 公称荷重 アキシャルプッシュ/プル | ||||
| 最大荷重 ラジアル荷重 | ||||
| 公称ラジアル荷重 | ||||
| 剛性アキシャル | ||||
| ラジアル剛性 | ||||
| 最大 最大傾斜モーメント | ||||
| 慣性モーメント | ||||
コネクションと周辺環境 | ||||
| 供給圧力 | ||||
| 空気消費量 | ||||
| クリーンルーム適合性 |
1) 左下の図を参照して下さい
測定面：
取り付け方法（取り付けオプション）
– M10仕様（M10のネジとネジ穴）
– M8仕様（M8のネジとネジ穴）
