XYステージEZ-0117の設計では、コスト重視の設計と高精度の両立を特に重視しました。エアベアリングトレッドはベローズで覆われており、パーティクルの侵入を防ぎます。ベローズを装備しているにもかかわらず、高い位置決め精度を達成しています。鉄芯同期モーターにより、加速度は最大 10 m/s² 、移動速度は最大1 m/s。機械ベッドは花崗岩製。クロステーブルの側面には、エネルギー、信号、媒体を伝送するためのインターフェースプレートが装備されています。両軸とも、電気および空圧エネルギーを個別に供給できる。終端位置は誘導センサーにより検出されます。XYステージには2つのサイズがあり、移動範囲は250 x 450 mmまたは250 x 800 mmです。ご要望に応じて、他の寸法や2軸システムの拡張も可能です。