제품 설명
XY 스테이지 EZ-0117의 설계에서는 높은 정확도 요구 사항과 비용고려 결합을 고려한 설계에 특히 중점을 두었습니다. air bearing의 이송부는 Particle의 유입을 방지하기 위해 벨로우즈로 덮여 있어 EZ-0117은 particle이 발생되는 application에 특히 적합합니다. bellows가 장착되어 있음에도 불구하고 높은 수준의 위치 정확도를 달성할 수 있습니다. Iron-core 동기식 모터는 최대 10m/s2 의 가속과 최대 1m/s의 이동 속도를 허용합니다. machine bed는 granite로 만들어졌습니다. 에너지, 신호 및 매체의 전송을 위해 크로스 테이블 측면에 인터페이스 플레이트가 제공됩니다. 두 축 모두 전기 및 공압 에너지를 별도로 공급할 수 있습니다. 끝 위치는 유도 센서에 의해 감지됩니다. XY stage는 250 x 450mm 또는 250 x 800mm의 이동 범위로 2가지 크기로 제공되며, 요청 시 2축 시스템의 다른 치수 또는 확장도 가능합니다.
적용 분야: Positioning, scanning, exposure, laser engraving, laser processes in general.
사양
Type | Unit | EZ-0117-450 | EZ-0117-800 |
|---|---|---|---|
| Article No. | |||
| Stroke | |||
| Positioning Accuracy (non-compensated) | |||
| Repeatability (bidirectional) 1) | |||
| Position Stability 1) | |||
| Vertical/Horizontal Straightness | |||
| Pitch | |||
| Yaw | |||
| Max. Speed unloaded | |||
| Max. Acceleration unloaded | |||
Mechanical Data | |||
| Mounting Position | |||
| Dimension L x W x H | |||
| Max. Load in Z | |||
| Moving Mass Y | |||
| Moving Mass X + Y | |||
| Total Mass | |||
Encoder | |||
| Type 2) | |||
| Sensor Signal | |||
Drive | |||
| Type | |||
| Max. Voltage ph-ph | |||
| Continuous Force X / Y | |||
| Peak Current X / Y | |||
| Back-EMK ph-ph X / Y | |||
| Force Constant | |||
Interfaces and Environment | |||
| Supply Pressure | |||
| Air Consumption | |||
| MTBF | |||
| Limit Switch | |||
| Clean Room Suitability 3) | |||
Drive Control | |||
| Standard | |||
| High End |
1) ACS 드라이버로 측정됨.
2) 절대치 encoder 요청시 가능
3) bellows 없는 machine은 상세 디자인에 따름
제어
EZ-0117 stage는 다음의 driver controller를 제공 합니다.
