제품 설명
EZ-RP201 턴테이블 시리즈는 축 방향 오차 운동 < 30 nm, 반경 방향 오차 운동 < 50 nm로, 최고 수준의 동심도(Concentricity) 요구 사항을 충족합니다. 특수한 H-디자인 및 최적화된 베어링 레이아웃을 통해 높은 축 방향 하중 용량과 강성을 제공합니다. 스테인리스 스틸로 제작된 회전 테이블은 외부 플랜지 모터 또는 벨트 풀리를 통해 구동할 수 있습니다.
적용 분야: 정밀 선삭(Turning), 폴리싱(Polishing),연삭(Grinding), 웨이퍼 연삭(Wafer Grinding), 고도의 동심도(Concentricity)가 요구되는 애플리케이션
사양
Type | Unit | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
|---|---|---|---|---|
| Turning Range | ||||
| Error Motion axial (in the center) | ||||
| Error Motion radial (at 20 mm height) | ||||
| Axial Runout (measured on surface a/b)1) | ||||
| Radial Runout (measured on surface c/d)1) | ||||
| Max. Speed | ||||
Mechanical Data | ||||
| Mounting Position | ||||
| Diameter x Height | ||||
| Diameter Rotor | ||||
| Moving Mass (rotor) | ||||
| Total Mass | ||||
| Max. Load axial | ||||
| Nominale Load axial push/pull | ||||
| Max. Load radial | ||||
| Nominale Load radial | ||||
| Stiffness axial | ||||
| Stiffness radial | ||||
| Max. Moment of Tilt | ||||
| Inertialmoment | ||||
Interfaces and Environment | ||||
| Supply Pressure | ||||
| Air Consumption | ||||
| Clean Room Suitability |
1) 왼쪽 아래 수치 확인.
측정 표면:
설치 옵션:
– M10 나사산 사용하는 M10 스크류
– M10 카운터 보어 사용하는 M8 스크류
