에어베어링 턴테이블

EZ-RP201 - Passive | 주요 특징

  • 수동(Passive) 에어베어링 턴테이블
  • 매우 낮은 오차 운동
  • 고속 운전 가능
  • 높은 하중 용량 및 강성
  • 다양한 크기 제공

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제품 설명

EZ-RP201 턴테이블 시리즈는 축 방향 오차 운동 < 30 nm, 반경 방향 오차 운동 < 50 nm로, 최고 수준의 동심도(Concentricity) 요구 사항을 충족합니다. 특수한 H-디자인 및 최적화된 베어링 레이아웃을 통해 높은 축 방향 하중 용량과 강성을 제공합니다. 스테인리스 스틸로 제작된 회전 테이블은 외부 플랜지 모터 또는 벨트 풀리를 통해 구동할 수 있습니다.

적용 분야: 정밀 선삭(Turning), 폴리싱(Polishing),연삭(Grinding), 웨이퍼 연삭(Wafer Grinding), 고도의 동심도(Concentricity)가 요구되는 애플리케이션

사양

Type
Unit
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
Turning Range
°
> 360 (unlimited)
> 360 (unlimited)
> 360 (unlimited)
Error Motion axial (in the center)
μm
<0.03
<0.03
<0.03
Error Motion radial (at 20 mm height)
μm
<0.05
<0.05
<0.05
Axial Runout (along radius 85 mm)
μm
<2
<2
<2
Max. Speed
rpm
5,000
4,000
2,000
Mechanical Data
Unit
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
Mounting Position
unrestricted
unrestricted
unrestricted
Diameter x Height
mm
200 x 130
240 x 160
300 x 170
Diameter Rotor
mm
155
195
247.6
Moving Mass (rotor)
kg
9.7
19.4
36.4
Total Mass
kg
21
38
66
Max. Load axial
N
2,900
4,000
5,000
Nominale Load axial push/pull
N
2,300
2,800
4,000
Max. Load radial
N
690
1,200
2,000
Nominale Load radial
N
500
850
1,600
Stiffness axial
N/μm
500
580
2,500
Stiffness radial
N/μm
100
110
500
Resistance Against Tilt
Nm/rad
0.8
2.8
8
Max. Moment of Tilt
Nm
> 50
> 100
> 200
Inertialmoment
kg*m2
0.03
0.1
0.25
Interfaces and Environment
Unit
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
Supply Pressure
bar
5
5
5
Air Consumption
Sl/min
70
40
70
Clean Room Suitability
applicable
applicable
applicable
EZ-RP201 Drehtisch

설치 옵션 (2가지 방법)

– M10 실린더 헤드 스크류를 사용하여 제공된 M10 나사산으로 고정
– M8 실린더 헤드 스크류를 사용하여 카운터 싱크 보어로 고정
EZ-RP201 Drehtisch
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