제품 » 에어베어링 턴테이블 » EZ-RP201 에어베어링 턴테이블
제품 설명
EZ-RP201 턴테이블 시리즈는 축 방향 오차 운동 < 30 nm, 반경 방향 오차 운동 < 50 nm로, 최고 수준의 동심도(Concentricity) 요구 사항을 충족합니다. 특수한 H-디자인 및 최적화된 베어링 레이아웃을 통해 높은 축 방향 하중 용량과 강성을 제공합니다. 스테인리스 스틸로 제작된 회전 테이블은 외부 플랜지 모터 또는 벨트 풀리를 통해 구동할 수 있습니다.
적용 분야: 정밀 선삭(Turning), 폴리싱(Polishing),연삭(Grinding), 웨이퍼 연삭(Wafer Grinding), 고도의 동심도(Concentricity)가 요구되는 애플리케이션
사양
Type | Unit | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
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Turning Range | ||||
Error Motion axial (in the center) | ||||
Error Motion radial (at 20 mm height) | ||||
Axial Runout (along radius 85 mm) | ||||
Max. Speed | ||||
Mechanical Data | ||||
Mounting Position | ||||
Diameter x Height | ||||
Diameter Rotor | ||||
Moving Mass (rotor) | ||||
Total Mass | ||||
Max. Load axial | ||||
Nominale Load axial push/pull | ||||
Max. Load radial | ||||
Nominale Load radial | ||||
Stiffness axial | ||||
Stiffness radial | ||||
Resistance Against Tilt | ||||
Max. Moment of Tilt | ||||
Inertialmoment | ||||
Interfaces and Environment | ||||
Supply Pressure | ||||
Air Consumption | ||||
Clean Room Suitability |
설치 옵션 (2가지 방법)
– M10 실린더 헤드 스크류를 사용하여 제공된 M10 나사산으로 고정
– M8 실린더 헤드 스크류를 사용하여 카운터 싱크 보어로 고정