Drehtisch
EZ-0778 Passiv | Key Features
- Luftgelagerter passiver Drehtisch
- Hohe Tragkraft
- Error Motion < 0,1 μm
- Ausführung in Edelstahl
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Produktbeschreibung
Der passive Drehtisch EZ-0778 zeichnet sich durch hohe axiale und radiale Tragkraft und Steifigkeit aus. Auf Grund der geringen Error Motion von < 100 nm eignet sich der Tisch hervorragend für Rotationsbewegungen bei hochgenauen Bearbeitungsprozessen. Über eine Balgkupplung und Riemenscheibe kann der luftgelagerte Drehtisch von einem externen Motor angetrieben werden. Auf Wunsch können diese im Werk vormontiert werden. Hinsichtlich der Einbaulage gibt es keine Einschränkungen.
Einsatzgebiete: Antrieb/Lagerung in den Bereichen Feindrehen, Polieren, Schleifen, Waferschleifen; Anwendungen mit hohen Rundlaufanforderungen.
Spezifikationen
Typ | Einheit | EZ-0778 |
|---|---|---|
| Drehweg | ||
| Error Motion axial (im Zentrum) | ||
| Error Motion radial (auf 20 mm Höhe) | ||
| Planlauf axial (entlang Radius 85 mm) | ||
| Max. Drehzahl | ||
Mechanische Eigenschaften | ||
| Einbaulage | ||
| Durchmesser x Höhe | ||
| Max. Tragkraft axial | ||
| Nominale Tragkraft axial Druck/Zug | ||
| Max. Tragkraft radial | ||
| Nominale Tragkraft radial | ||
| Steifigkeit axial | ||
| Steifigkeit radial | ||
| Kippsteifigkeit | ||
| Max. Kippmoment | ||
| Bewegte Masse (Rotor) | ||
| Gesamtmasse | ||
| Inertialmoment | ||
| Material | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||
| Versorgungsdruck | ||
| Luftverbrauch | ||
| Reinraumeignung |
Abb.: Drehtisch mit Riemenscheibe – Ausführung nach Kundenwunsch