Drehtisch
EZ-0779 | Key Features
- Luftgelagerter Drehtisch mit Direktantrieb
- Tragkraft axial 3000 N
- Rundlaufgenauigkeit < 0,1 μm
- Geschwindigkeit 500 U/min
- Wassergekühlt
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Produktbeschreibung
Der Drehtisch EZ-0779 mit hoher axialer Tragkraft und axialer/radialer Error Motion unter 100 nm wurde urprünglich für den Einsatz in der Waferbearbeitung entwickelt; er ist für vielfältige Anwendungen geeignet. Der direkt angetriebene Drehtisch ist mit einem leistungsstarken wassergekühlten Torquemotor ausgestattet. Optional kann eine Drehdurchführung mit bis zu 6 Luft-/Vakuumkanälen integriert werden. Das Messystem (Numerik Jena RIK4) mit 18 000 Strichen kann wahlweise mit einer Interpolation von 5, 10, 50 oder 100 geliefert werden. Niedrige Interpolationswerte erlauben höhere Drehzahlen, höhere Interpolationswerte erhöhen die Wiederholgenauigkeit. Der Drehtisch kann in jeder Orientierung waagrecht und senkrecht eingebaut werden.
Einsatzgebiete: Waferschleifen, Waferdünnen, Testsysteme, Anwendungen mit hohen Anforderungen an Gleichlauf und/oder Positioniergenauigkeit
Spezifikationen
Typ | Einheit | EZ-0779 |
|---|---|---|
| Drehweg | ||
| Error Motion axial (im Zentrum) | ||
| Error Motion radial (auf 20 mm Höhe) | ||
| Planlauf axial (entlang Radius 35 mm) | ||
| Umdrehungen per min1) | ||
Mechanische Eigenschaften | ||
| Einbaulage | ||
| Durchmesser x Höhe | ||
| Aperture | ||
| Bewegte Masse (Rotor) | ||
| Gesamtmasse | ||
| Max. Tragkraft axial | ||
| Nominale Tragkraft axial Druck/Zug | ||
| Max. Tragkraft radial | ||
| Nominale Tragkraft radial | ||
| Steifigkeit axial | ||
| Steifigkeit radial | ||
| Kippsteifigkeit | ||
| Max. Kippmoment | ||
| Inertial Moment | ||
| Material | ||
Messsystem | ||
| Encodertyp | ||
| Signalperioden pro Umdrehung | ||
| Output Signal | ||
| Interpolation | ||
Antrieb | ||
| Antriebstyp | ||
| Zwischenkreisspannung | ||
| Nenn-/ Spitzendrehmoment | ||
| Nenn- / Max. Strom | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||
| Versorgungsdruck | ||
| Luftverbrauch | ||
| Reinraumeignung | ||
Empfohlene Antriebsregler | ||
| Standard | ||
| High end |
1) abhängig von der Interpolation
Ansteuerung
Wir bieten den EZ-0779 mit folgenden Antriebsreglern an:
Kollmorgen Servostar S300 / S700
Kollmorgen AKD P00606
