产品描述
在该XY气浮平台的设计理念里，EZ-0117特别强调成本优势与高精度完美契合。该系统外壳体覆盖了风琴罩，可防止颗粒杂物进入，所以它特别适合在恶劣环境中使用。有铁芯同步电机使运行速度和加速度分别达到1m/s和10m/s2。EZ-0117的床身由花岗岩（大理石）制作而成。在它机身的侧面预留了接口，用于供电供气，而且两个轴分别供应，互不干涉。在行程的末端配有位置传感器等电气元件。XY气浮轴承平台有两种尺寸，对应的行程分别是250x450mm和250x800mm。如果需要其他尺寸或者行程，请联系我们。
应用: 定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻。激光加工等。
技术规格
类型 | 单位 | EZ-0117-450 | EZ-0117-800 |
|---|---|---|---|
| 产品料号 | |||
| 行程 | |||
| 定位精度 （未补偿） | |||
| 重复定位精度 （双向） 1) | |||
| 位置稳定度 1) | |||
| 竖直/水平直线度 | |||
| 俯仰 | |||
| 偏摆 | |||
| 最大速度（无负载） | |||
| 最大加速度（无负载） | |||
机械参数 | |||
| 安装方向 | |||
| 尺寸（长 x 宽 x 高） | |||
| 最大承载（垂直于Z轴） | |||
| 滑块重量（Y轴） | |||
| 滑块重量（X + Y轴） | |||
| 总重量 | |||
编码器 | |||
| 类型 2) | |||
| 信号 | |||
电机 | |||
| 类型 | |||
| 峰值电压 | |||
| 持续推力 X / Y | |||
| 峰值电流 X / Y | |||
| 反电动势峰值 X / Y | |||
| 力常数 | |||
操作使用 | |||
| 供气压力 | |||
| 耗气量 | |||
| 平均无故障工作时长 | |||
| 限位开关 | |||
| 洁净室适用性 3) | |||
驱控系统 | |||
| 标准 | |||
| 高性能 |
1) 由ACS驱动器测得
2) 如需要绝对式编码器，请联系我们
3) 如不需要风琴罩，请联系我们
驱控系统
我们也可以提供以下型号的驱动器 / 控制器，供客户选择:
