产品描述
EZ-0715龙门结构气浮运动平台专为高精度应用而设计开发的。集成了海德汉的LIP6.G0增量式测量系统以及优化的结构设计,使得它的定位精度可达±250nm,重复定位精度为±25nm。真空预压气浮轴承的使用和优化的质量分布,使得它既有很高的刚度又有紧凑小巧的尺寸。使用了无铁芯电机,加速度可到 10 m/s 2,速度为1m/s,行程末端集成了位置传感器。电缆(动力/反馈)和气管(压缩空气)被集成到对称的V型拖链里。机台的床身由花岗岩(大理石)制作而成XY轴可以根据客户的需求进行定制;也可以将XY轴(两轴)扩展为XYZ轴(三轴),或XYC轴(三轴),或XYZC轴(四轴)。
应用领域: 定位精度/重复定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻、激光加工等等。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
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行程 | ||
单轴定位精度(补偿后) 1) | ||
重复定位精度(双向) 2) | ||
位置稳定度 | ||
垂直直线度(补偿后) | ||
水平直线度 | ||
俯仰 | ||
偏摆(X轴) | ||
偏摆(Y轴) | ||
最大速度(无负载) | ||
最大加速度(无负载) | ||
机械参数 | ||
安装方向 | ||
尺寸(长 x 宽 x 高) | ||
最大承载 | ||
滑块重量(上轴) | ||
滑块重量(下轴) | ||
总重量 | ||
编码器 | ||
类型 3) | ||
信号 | ||
电机 | ||
类型 | ||
峰值电压 | ||
持续推力,X 轴(2台电机) / Y轴 | ||
峰值电流,X / Y | ||
反电动势峰值 | ||
力常数 | ||
操作使用 | ||
供气压力 | ||
耗气量 | ||
平均无故障工作时长 | ||
限位开关 | ||
洁净室适用性 4) | ||
驱控系统 | ||
高性能 |
1)在行程的中间位置
2)在静态模式下
3)如需要绝对式编码器,请联系
4)取决于细节设计