产品描述
该转台误差运动极低，轴向小于 < 30 nm，和径向小于< 50 nm。 EZ-RP201 系列转台能够满足极高的同心度需求。 得益于它的H 型结构和优化的气浮轴承结构，使得它能够达到极高的气膜刚度和承载力，因此它非常适合加工高硬度的物体。 由不锈钢材料制作而成，可以通过法兰盘连接外置电机，也可通过皮带轮连接。
应用领域：精密车削、抛光、研磨、晶圆研磨、晶圆减薄等领域； 也完美地适用同心度要求很高的场合。
技术规格
类型 | 单位 | EZ-RP201-150 | EZ-RP201-200 | EZ-RP201-250 |
|---|---|---|---|---|
| 旋转角度 | ||||
| 轴向误差运动 （中心线） | ||||
| 径向误差运动 （在 20 mm 高度） | ||||
| 轴向跳动（测量a/b面）1) | ||||
| 径向跳动（测量c/d面）1) | ||||
| 最大 转速（仅初代版本） | ||||
机械数据 | ||||
| 安装方向 | ||||
| 尺寸（直径 x 高度） | ||||
| 转子直径 | ||||
| 转子重量 | ||||
| 转台总重 | ||||
| 轴向最大承载 | ||||
| 轴向额定承载 | ||||
| 径向最大承载 | ||||
| 径向额定承载 | ||||
| 轴向刚度 | ||||
| 径向刚度 | ||||
| 倾覆力矩 | ||||
| 惯性力矩 | ||||
操作使用 | ||||
| 供气压力 | ||||
| 耗气量 | ||||
| 洁净室适用性 |
1) 见左下方图片
测量表面：
安装选项
– 在M10螺纹孔装M10螺栓
– 在M10沉孔装M8螺栓
