製品情報 » 多軸システム
移動範囲 250 mm x 450/800 mm
移動範囲 500/600 mm x 500 mm｜繰り返し精度 ± 50 nm
移動範囲 350 x 450 mm｜繰り返し精度 ± 20 nm
EZ-0730 高精度インパルス非結合ステージ
Zストローク 5 mm｜回転角度 ± 3
Z軸ストローク 310 mm｜高負荷容量回転テーブル
