製品説明
EZ-0714ガントリーステージは、高精度が要求される位置決め作業用に設計されており、特に多目的に使用できます。オプションのベローズ付き装置により、ステージはレーザー加工プロセスだけでなく、パーティクルの多いプロセスにも適しています。軸のコプラナー配置とガントリー設計により、非常に高い繰り返し精度と位置決め精度を保証します。すべてのエアベアリングは磁気的に予圧されています。ケーブルマネジメントは、機械的干渉を最小限に抑えるように設計されています。鉄芯同期モーターにより、最大 10.m/s2 の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能です。機械ベッドは花崗岩製。Z軸による延長が可能。XYステージには2種類のサイズがあり、移動範囲は500 x 500 mmまたは500 x 600 mmです。
用途: 位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。
仕様
タイプ | 単位 | 500 x 500 mm | 600 x 500 mm |
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ストローク | |||
位置決め精度(非補償) | |||
繰り返し精度(双方向) 1) | |||
位置安定性 1) | |||
上下左右の直進性 | |||
ピッチ | |||
ヨー | |||
最大速度 無負荷時速度 | |||
最大加速度 加速度(無負荷時 | |||
メカニカルデータ | |||
取付位置 | |||
寸法 長さ×幅×高さ | |||
最大荷重 最大荷重 | |||
移動質量 Y | |||
移動質量 X + Y | |||
総質量 | |||
エンコーダー | |||
タイプ 2) | |||
センサー信号 | |||
ドライブ | |||
タイプ | |||
最大 最大電圧 ph-ph | |||
連続力 X / Y | |||
ピーク電流 X / Y | |||
バックEMK ph-ph X / Y | |||
フォースコンスタント | |||
インターフェイスと環境 | |||
供給圧力 | |||
空気消費量 | |||
MTBF | |||
リミットスイッチ | |||
クリーンルーム適合性 3) | |||
ドライブコントロール | |||
スタンダード | |||
ハイエンド |
1) ACSアンプで測定
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による
コントロール
EZ-0714には以下のドライブコントローラをご用意しています: