製品情報 » 多軸システム
移動量 250 mm x 450/800 mm｜繰り返し精度 ± 75 nm
移動範囲 500/600 mm x 500 mm｜繰り返し精度 ± 50 nm
移動範囲 450 x 400 mm｜繰り返し精度 ± 40 nm
EZ-0730 高精度インパルス非結合ステージ
移動範囲 350 x 450 mm｜繰り返し精度 ± 20 nm
Zストローク 5 mm｜回転角度 ± 3
Z軸ストローク 310 mm｜高負荷容量回転テーブル
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