製品説明
EZ-0714ガントリーステージは、高精度が要求される位置決め作業用に設計されているため、特に汎用性に優れています。オプションのベローズ付き装置により、このクロステーブルは特にパーティクルの多いアプリケーションやレーザー加工工程に適しています。軸のコプラナー配置とガントリー設計により、非常に高い繰返し精度と位置決め精度を保証します。すべてのエアベアリングは磁気予圧式です。ケーブルマネジメントは、機械的干渉を最小限に抑えるように設計されています。鉄芯同期モーターにより、最大10.m/s2の加速度と最大1.m/sの移動速度が可能。機械ベッドは花崗岩製。Z軸の追加も可能です。クロステーブルは2サイズあり、移動範囲は500 x 500 mmまたは500 x 600 mmです。ご要望に応じて、その他のサイズや拡張も可能です。
用途: 位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。
仕様
タイプ | 単位 | 500 x 500 mm | 600 x 500 mm |
|---|---|---|---|
| ストローク | |||
| 位置決め精度(非補償) | |||
| 繰り返し精度(双方向) 1) | |||
| 位置安定性 1) | |||
| 上下左右の直進性 | |||
| ピッチ | |||
| ヨー | |||
| 最大速度 無負荷時速度 | |||
| 最大加速度 加速度(無負荷時 | |||
メカニカルデータ | |||
| 取付位置 | |||
| 寸法 長さ×幅×高さ | |||
| 最大荷重 最大荷重 | |||
| 移動質量 Y | |||
| 移動質量 X + Y | |||
| 総質量 | |||
エンコーダー | |||
| タイプ 2) | |||
| センサー信号 | |||
ドライブ | |||
| タイプ | |||
| 最大 最大電圧 ph-ph | |||
| 連続力 X / Y | |||
| ピーク電流 X / Y | |||
| バックEMK ph-ph X / Y | |||
| フォースコンスタント | |||
インターフェイスと環境 | |||
| 供給圧力 | |||
| 空気消費量 | |||
| MTBF | |||
| リミットスイッチ | |||
| クリーンルーム適合性 3) | |||
ドライブコントロール | |||
| スタンダード | |||
| ハイエンド |
1) ACSアンプで測定
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による
コントロール
EZ-0714には以下のドライブコントローラをご用意しています:
