製品説明
エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ( EZ-0715など)への統合を目的としています。 高度に統合された設計により、全高は約138mmと低く抑えられています。回転角度は±3°に制限されています。1.5μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動される。エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。
用途: 高精度位置決め作業、スキャニング、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
---|---|---|
回転角度 (C) | ||
ストローク(Z | ||
真直度(ZTX、ZTY) | ||
ピッチ、ヨー(ZRX、ZRY) | ||
ロール(ZRZ) | ||
Z方向の位置安定性 1) | ||
Z方向の精度 1) | ||
ポジション精度 C 1) | ||
繰返し精度 C 1) (1)) | ||
最高速度 無負荷速度 | ||
最大加速度 無負荷時最大加速度 | ||
メカニカルデータ | ||
取付位置 | ||
シリンダー径×高さ | ||
総質量 | ||
最大荷重 最大荷重 | ||
材質 | ||
エンコーダー | ||
タイプ | ||
信号 | ||
ドライブ | ||
駆動タイプ | ||
中間回路電圧 | ||
公称/ピーク | ||
公称/最大 | ||
ドライブタイ | ||
中間回路電圧 | ||
公称/ピーク | ||
公称/最大 | ||
インターフェイスと環境 | ||
供給圧力 | ||
空気消費量 | ||
クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
スタンダード | ||
ハイエンド |
1) ACSアンプで測定