제품 설명
EZ-0714 gantry 스테이지는 높은 정확도 요구 사항을 충족하는 위치 지정 작업을 위해 설계되어 있어 특히 다양한 공정에 사용 됩니다. Bellows가 있는 옵션 장비로 인해 이 스테이지는 입자가 적재되는 공정뿐만 아니라 레이저 가공 공정에도 적합 합니다. 동일 평면상 축의 정열과 갠트리 설계는 매우 높은 반복성과 위치 지정 정확도를보장합니다. 모든 에어 베어링은 mgnetic preload가 있습니다. 케이블 관리는 기계적 간섭을 최소화하도록 설계되었습니다. Iron-core 동기 모터는 최대 10m/s2의 가속과 최대 1m/s의 이동 속도를 가능하게 합니다. Machine bed는 화강암으로 만들어졌습니다. Z축 적용이 가능합니다. XY stage는 500 x 500mm 또는 500 x 600mm의 이동 범위로 두 가지 크기로 제공됩니다.
적용 분야: Positioning, scanning, exposure, laser engraving, laser processes in general.
사양
Type | Unit | 500 x 500 mm | 600 x 500 mm |
|---|---|---|---|
| Stroke | |||
| Positioning Accuracy (non-compensated) | |||
| Repeatability (bidirectional) 1) | |||
| Position Stability 1) | |||
| Vertical/Horizontal Straightness | |||
| Pitch | |||
| Yaw | |||
| Max. Speed unloaded | |||
| Max. Acceleration unloaded | |||
Mechanical Data | |||
| Mounting Position | |||
| Dimension L x W x H | |||
| Max. Load in Z | |||
| Moving Mass Y | |||
| Moving Mass X + Y | |||
| Total Mass | |||
Encoder | |||
| Type 2) | |||
| Sensor Signal | |||
Drive | |||
| Type | |||
| Max. Voltage ph-ph | |||
| Continuous Force X / Y | |||
| Peak Current X / Y | |||
| Back-EMK ph-ph X / Y | |||
| Force Constant | |||
Interfaces and Environment | |||
| Supply Pressure | |||
| Air Consumption | |||
| MTBF | |||
| Limit Switch | |||
| Clean Room Suitability 3) | |||
Drive Control | |||
| Standard | |||
| High End |
1) ACS 드라이버로 측정됨.
2) 절대치 encoder 요청시 가능
3) bellows 없는 machine은 상세 디자인에 따름
2) 절대치 encoder 요청시 가능
3) bellows 없는 machine은 상세 디자인에 따름
제어
EZ-0714 stage는 다음의 driver controller를 제공 합니다.
