Luftgelagerte ZC-Achse
EZ-0745-ZC | Key Features
- Linearachse für vertikale Anordnung
- Drehwinkel ±3°
- Max. Nutzlast 10 kg
- Integrierter Gewichtsausgleich
- Absoluter Linearencoder
- Dynamischer Antrieb durch Voice Coils
- Integrierbar in X/Y Stages (z.B. EZ-0715)
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Produktbeschreibung
Die luftgelagerte ZC-Achse EZ-0745 ist für die Integration in eine XY Stage (z.B. EZ-0715) konzipiert. Durch die hochintegrierte Bauweise ist nur eine geringe Bauhöhe von ca. 138 mm erforderlich. Der Drehwinkel ist auf ± 3° begrenzt. Die hohe Wiederholgenauigkeit von ± 1,5 μrad ermöglicht eine sehr präzise Ausrichtung des Substrats. Die Z-Achse ist durch 2 Luftlagerpads gegen Verdrehen gesichert und wird durch 2 gegenüber- liegende Voice Coil Motoren dynamisch angetrieben. Die Gewichtsentkopplung erfolgt über einen integrierten, luftgelagerten Pneumatikzylinder. Eine kundenspezifische Anpassung des Z-Hubs ist möglich.
Einsatzgebiete: Hochgenaue Positionieraufgaben, Scannen, Belichten, Lasergravieren, Laserprozesse allgemein
Spezifikationen
Typ | Einheit | Wert |
|---|---|---|
| Drehweg | ||
| Z-Hub | ||
| Geradheit (ZTX, ZTY) | ||
| Nicken, Gieren (ZRX, ZRY) | ||
| Rollen (ZRZ) | ||
| Positionsstabilität in Z 1) | ||
| Genauigkeit Z 1) | ||
| Positioniergenauigkeit C 1) | ||
| Wiederholgenauigkeit C 1) | ||
| Max. Beschleunigung (ohne Last) | ||
| Max. Geschwindigkeit (ohne Last) | ||
Mechanische Eigenschaften | ||
| Enbaulage | ||
| Durchmesser am Zylinder x Höhe | ||
| Gesamtmasse | ||
| Max. Nutzlast | ||
| Material | ||
Encoder | ||
| Encodertyp | ||
| Output Signal | ||
Antrieb | ||
| Antriebstyp C-Achse | ||
| Zwischenkreisspannung | ||
| Nenn-/Spitzenkraft | ||
| Nenn-/Max. Strom | ||
| Antriebstyp Z-Achse | ||
| Spannung | ||
| Nenn-/Spitzenkraft Z | ||
| Nenn-/Max. Strom Z bei 48 V | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||
| Versorgungsdruck | ||
| Luftverbrauch | ||
| Reinraumeignung | ||
Empfohlene Antriebsregler | ||
| Standard | ||
| High End |
1) vermessen mit ACS Verstärker
Ansteuerung
Wir bieten die ZC-Achse EZ-0745 mit folgenden Antriebsreglern an:
