EZ-0714 | 重要特征 - Eitzenberger GmbH

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XY 高精度、气浮轴承、龙门架结构

EZ-0714 | 重要特征

XY行程 500 / 600mm x 500mm（可选）
高精度
最大承载 500N
XY轴共面运动
风琴外罩可选/可不选
适用恶劣生产环境

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产品描述

EZ-0714 龙门平台专为高精度要求的定位任务而设计，因此用途特别广泛。由于可选配带波纹管的设备，该十字工作台特别适用于含颗粒的应用和激光加工工艺。轴的共面布置和龙门设计确保了极高的重复性和定位精度。所有空气轴承均采用磁性预载。电缆管理设计可最大限度地减少机械干扰。铁芯同步电机可实现高达 10.m/s²的加速度和高达 1.m/s 的移动速度。机床床身由花岗岩制成。可以增加一个 Z 轴。横向工作台有两种尺寸，行程范围为 500 x 500 毫米或 500 x 600 毫米。其他尺寸或扩展尺寸可根据要求提供。

应用: 定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻。激光加工等。

技术规格

类型	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
行程	mm	500 x 500	600 x 500
定位精度（未补偿）	μm	± 3	± 3
重复定位精度（双向） ¹⁾	nm	± 50	± 50
位置稳定度 ¹⁾	nm	50	50
竖直/水平直线度	μm	3	3
俯仰	μrad	15	15
偏摆	μrad	10	10
最大速度（无负载）	m/s	1	1
最大加速度（无负载）	m/s²	10	10

机械参数	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
安装方向		水平	水平
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm	1408 x 1248 x 405	1612 x 1380 x 405
最大承载（ Z向）	N	500	500
滑块重量（Y轴）	kg	45	45
滑块重量（X + Y轴）	kg	113	113
总重量	kg	1413	1650

编码器		500 x 500 mm	600 x 500 mm
类型 ²⁾		增量式	增量式
信号		1 Vpp, 20 μm 信号周期	1 Vpp, 20 μm 信号周期

电机	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
类型		三相, 同步, 有铁芯	三相, 同步, 有铁芯
峰值电压	V_AC	400	400
持续推力 X / Y	N	1280 / 480	1280 / 480
峰值电流 X / Y	A_rms	16 / 12	16 / 12
反电动势峰值 X / Y	V/m/s	76	76
力常数	N/A	93	93

操作使用	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
供气压力	bar	5	5
耗气量	Sl/min	18	18
平均无故障工作时长	h	> 20 000	> 20 000
限位开关		PNP	PNP
洁净室适用性 ³⁾		适用	适用

驱控系统		500 x 500 mm	600 x 500 mm
标准		Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700	Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
高性能		ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130	ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130

¹⁾ 由ACS驱动器测得
²⁾ 如需要绝对式编码器，请联系我们
³⁾ 如不需要风琴罩，请联系我们

驱控系统

我们也可以提供以下型号的驱动器 / 控制器，供客户选择:

XY 高精度、气浮轴承、龙门架结构

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产品描述

技术规格

驱控系统

Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700

Triamec TSD130

ACS Controller mit UDMpa Drive