旋转平台

EZ-RP201 - Passive | 重要特征

  • 未集成电机的气浮轴承旋转平台(运动部件无机械磨擦)
  • 极低的误差运动
  • 转速高
  • 气膜刚度大/承载力大
  • 多个尺寸可供选择

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产品描述

该转台误差运动极低,轴向小于 < 30 nm,和径向小于< 50 nm。 EZ-RP201 系列转台能够满足极高的同心度需求。 得益于它的H 型结构和优化的气浮轴承结构,使得它能够达到极高的气膜刚度和承载力,因此它非常适合加工高硬度的物体。 由不锈钢材料制作而成,可以通过法兰盘连接外置电机,也可通过皮带轮连接。

应用领域:精密车削、抛光、研磨、晶圆研磨、晶圆减薄等领域; 也完美地适用同心度要求很高的场合。

技术规格

类型
单位
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
旋转角度
°
> 360 (任意)
> 360 (任意)
> 360 (任意)
轴向误差运动 (中心线)
μm
<0.03
<0.03
<0.03
径向误差运动 (在 20 mm 高度)
μm
<0.05
<0.05
<0.05
轴向跳动 (在半径 85 mm) 最大
μm
<2
<2
<2
最大 转速(仅初代版本)
rpm
5,000
4,000
2,000
机械数据
单位
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
安装方向
无限制
无限制
无限制
尺寸(直径 x 高度)
mm
200 x 130
240 x 160
300 x 170
转子直径
mm
155
195
247.6
转子重量
kg
9.7
19.4
36.4
转台总重
kg
21
38
66
轴向最大承载
N
2,900
4,000
5,000
轴向额定承载
N
2,300
2,800
4,000
径向最大承载
N
690
1,200
2,000
径向额定承载
N
500
850
1,600
轴向刚度
N/μm
500
580
2,500
径向刚度
N/μm
100
110
500
倾斜刚度
Nm/rad
0.8
2.8
8
倾覆力矩
Nm
> 50
> 100
> 200
惯性力矩
kg*m2
0.03
0.1
0.25
操作使用
单位
EZ-RP201-150
EZ-RP201-200
EZ-RP201-250
供气压力
bar
5
5
5
耗气量
Sl/min
70
40
70
洁净室适用性
适用
适用
适用
EZ-RP201 Drehtisch

两种安装选项:

-用M10 的圆头螺栓锁紧 M10 螺栓处,
-用 M8 的圆头螺栓锁紧沉头孔处.
EZ-RP201 Drehtisch
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