EZ-0714 | 重要特征 - Eitzenberger

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XY 高精度、气浮轴承、龙门架结构

EZ-0714 | 重要特征

XY行程 500 / 600mm x 500mm（可选）
高精度
最大承载 500N
XY轴共面运动
风琴外罩可选/可不选
适用恶劣生产环境

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产品描述

EZ-0714龙门结构气浮轴承平台专为高精度、高定位精度的应用而设计制造的，它的使用场景非常广泛。得益于风琴罩的设计，它可应用于含颗粒、粉尘等杂质的环境，也可用于激光切割设备。轴系的共面布置和龙门架结构确保了它具有非常高的定位精度和重复定位精度。所有的空气轴承都集成了磁力预压结构。科学的电缆/气路管线布局极大减少了机械干扰。有铁芯同步电机使得运行速度和加速度分别达到1m/s和10m/s²。EZ-0714的床身由花岗岩（大理石）制作而成。该气浮平台有两种尺寸，对应的行程分别是500x500mm 和500x600mm。如有需要，可以另外扩展出Z轴；也可根据要求扩展出ZC轴（双轴）。

应用: 定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻。激光加工等。

技术规格

类型	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
行程	mm	500 x 500	600 x 500
定位精度（未补偿）	μm	± 3	± 3
重复定位精度（双向） ¹⁾	nm	± 50	± 50
位置稳定度 ¹⁾	nm	50	50
竖直/水平直线度	μm	3	3
俯仰	μrad	15	15
偏摆	μrad	10	10
最大速度（无负载）	m/s	1	1
最大加速度（无负载）	m/s²	10	10

机械参数	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
安装方向		水平	水平
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm	1408 x 1248 x 405	1612 x 1380 x 405
最大承载（ Z向）	N	500	500
滑块重量（Y轴）	kg	45	45
滑块重量（X + Y轴）	kg	113	113
总重量	kg	1413	1650

编码器		500 x 500 mm	600 x 500 mm
类型 ²⁾		增量式	增量式
信号		1 Vpp, 20 μm 信号周期	1 Vpp, 20 μm 信号周期

电机	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
类型		三相, 同步, 有铁芯	三相, 同步, 有铁芯
峰值电压	V_AC	400	400
持续推力 X / Y	N	1280 / 480	1280 / 480
峰值电流 X / Y	A_rms	16 / 12	16 / 12
反电动势峰值 X / Y	V/m/s	76	76
力常数	N/A	93	93

操作使用	单位	500 x 500 mm	600 x 500 mm
供气压力	bar	5	5
耗气量	Sl/min	18	18
平均无故障工作时长	h	> 20 000	> 20 000
限位开关		PNP	PNP
洁净室适用性 ³⁾		适用	适用

驱控系统		500 x 500 mm	600 x 500 mm
标准		Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700	Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
高性能		ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130	ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130

¹⁾由ACS驱动器测得
²⁾如需要绝对式编码器，请联系我们
³⁾如不需要风琴罩，请联系我们

驱控系统

我们也可以提供以下型号的驱动器 / 控制器，供客户选择:

XY 高精度、气浮轴承、龙门架结构

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产品描述

技术规格

驱控系统

Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700

Triamec TSD130

ACS Controller mit UDMpa Drive