EZ-0117 XY-轴 平台

行程 250 mm x 450/800 mm

EZ-0714 XY-轴 龙门结构平台

行程500/600 mm x 500 mm | 重复精度 ± 50 nm

EZ-0715 高精度龙门结构平台

行程350 x 450 mm | 重复精度 ± 20 nm

EZ-0730 高精度脉冲解耦平台

行程850 mm x 500 mm |步距精度< 1 nm

EZ-0745 ZC-轴 平台

Z轴行程 5 mm | 旋转角度± 3°

EZ-4360 ZC-轴 平台

Z轴行程 310 mm | C轴大承载高精度旋转平台

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