产品 » 多轴系统
行程 250 mm x 450/800 mm
行程500/600 mm x 500 mm | 重复精度 ± 50 nm
行程350 x 450 mm | 重复精度 ± 20 nm
行程850 mm x 500 mm |步距精度< 1 nm
Z轴行程 5 mm | 旋转角度± 3°
Z轴行程 310 mm | C轴大承载高精度旋转平台
