EZ-0117 XY-Kreuztisch

Verfahrweg 250 mm x 450/800 mm | Wiederholgenauigkeit ± 75 nm

EZ-0117 XY-Kreuztisch

EZ-0714 XY-Gantry Stage

Verfahrweg 500/600 mm x 500 mm | Wiederholgenauigkeit ± 50 nm

EZ-0714 XY-Gantry Stage

EZ-GS0760 Dynamic Wafer Stage

Verfahrweg 450 x 400 mm | Wiederholgenauigkeit ± 40 nm

EZ-0730 Hochgenaue Impulsentkoppelte Stage

Verfahrweg 850 x 500 mm | Step to Step Genauigkeit < 1 nm

EZ-0730 High Precision Impulse Decoupled Stage

EZ-0715 Hochgenauer Gantry Stage

Verfahrweg 350 x 450 mm | Wiederholbarkeit ± 20 nm

EZ-0715 High Precision Gantry Stage

EZ-0745 ZC-Achse

Z-Hub 5 mm | Drehwinkel ± 3°

EZ-0745-ZC-Achse

EZ-4360 ZC-Motion System

Z-Hub 310 mm | Drehtisch mit hoher Tragkraft

EZ-4360 ZC-Motion System

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